LAM Research fragt euch: Welche Möglichkeiten gibt es, flüssige Chemikalien im Durchflussverfahren auf eine möglichst konstante, aber nach Belieben einstellbare Temperatur zu erhitzen?

Bisher verwendetes Verfahren

Das bestehende Verfahren verwendet ein zentrales System, das die jeweils benötigten Chemikalien mittels Pumpe durch einen Heizer befördert, in dem die Flüssigkeit auf die gewünschte Temperatur aufgeheizt wird, um sie dann zu den entsprechenden Verbrauchern (PoU - Point of Use) zu transportieren. Der Überschuss wird anschließend wieder in den Tank zurückgepumpt.

Im folgenden Schema ist der Prozess vereinfacht dargestellt.

Zu beachtende Randbedingungen des Prozesses (in detaillierteren Ideen unbedingt zu berücksichtigen!)

• Temperatur = 30°C .. 80°C, flexibel einstellbar, rasch änderbar
• Fluss = 1 l/min .. 5 l /min, prozessabhängig variabel, jedoch vorgegeben
• Genauigkeit (Temperaturstabilität): ≤ ± 0.1°C
• Chemikalien: HF, HCl, NH₄OH, H₂O₂, HNO₃, Gemische davon mit H₂O (aggressive Chemikalien!)
• Umgebung: Halbleiterindustrie, Reinsträume, Reinstmedien

Nachteile des bestehenden Prozesses

• Groß (Tankvolumen)
• Hohe thermische Masse
• Nicht flexibel
  • bzgl. zeitlicher Änderung der Temperatur
  • bzgl. unterschiedlicher Temperatur an unterschiedlichen Verbrauchern

Vorteile des bestehenden Prozesses

• Temperaturstabilität
• relativ einfaches Konzept und daher kostengünstig

Welche Lösung wird gesucht?

Die optimale Lösung erfüllt folgende Bedingungen:

• Verwendungsmöglichkeit innerhalb der oben genannten Randbedingungen des Prozesses
• möglicherweise dezentrale Temperatur-Regelung am jeweiligen PoU (Ausschalten der bisherigen Nachteile!)
• möglichst kostengünstig